德国Aixatech公司——低成本GaN同质衬底_北京大学东莞光电研究院

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德国Aixatech公司——低成本GaN同质衬底

2021-10-11

合作完成《利用低温AlN薄膜衬底制备低成本GaN同质衬底及产业化》项目，引进德方低温AlN薄膜衬底相关技术，在低温AlN薄膜衬底进行LED结构的MOCVD生长技术开发和优化研究，研制出基于低温AlN薄膜衬底的低成本LED，一起对外推广产业化，有销售产出。

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