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产业化成果
 
极大规模集成电路光刻机部件
   编辑:管理员   浏览:1865  时间:2013-4-17 
集成电路的应用水平已是当前世界各国信息化发展程度乃至综合国力的基础性标志之一。《国家经济和社会发展第十一个五年规划纲要(草案)》中提到,要大力发展集成电路、软件和新型元器件等核心产业。该关键部件目前仍受制于人,受到禁运等限制。为突破这一“光学工程技术皇冠上的明珠”,光电院把握国家需求与科技发展趋势,联合长光所、光电所、上光所、安光所等中科院内外单位抢先布局,形成技术优势。2008年12月,科技部发布了02专项项目指南,明确了光电院为该项目的定向责任单位。2009年6月,中科院成立02专项任务领导小组、任务技术总体组和专项管理办公室,办公室依托光电院。光电院在不到一年的时间内,迅速组织参与单位建立了专项的组织架构,研究和管理团队及时到位,建章立制,规范管理,紧张有序的工作确保了专项能够按照主管机构的要求立项、签署合同并拨款到位;同时,各项科研工作全面展开,保证了专项计划节点的执行。通过合理组织和国际合作,有效地开展了装备采购工作,节约了成本。狠抓技术引进、消化吸收及再创新,包括对国外专家人才的引进,前瞻部署了知识产权保护工作,制定了知识产权战略,为专项工作按期完成奠定基础。
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